講演情報
[16a-W2_401-3]N極性GaN HEMT構造のGaNチャネル内AlN組成勾配とリーク電流の関係性
〇(DC)Zazuli Hiyama Aina1、仁ノ木 亮祐1、山中 郁哉1、木本 大星1、段畠 陽樹1、平田 靖晃1、林内 天1、北村 優弥1、砂井 慶1、阿部 凜音1、徳本 遥1、倉井 聡1、岡田 成仁1、山田 陽一1 (1.山口大院・創成科学)
キーワード:
MOVPE、N極性GaN、HEMT
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