講演情報
[16a-W2_401-6]スパッタAlN上MOVPE-AlNテンプレートを用いたAlGaN成長
〇(M2)松原 優翔1、藤井 滉樹1、髙柳 祐介1、林 悠希矢1、清水 蒼輝1、桑原 佑基1、松尾 航汰1、高島 祐介1,2、直井 美貴1,2、谷内 息吹4、中村 昭平4、前岡 淳史4、大澤 篤史4、高辻 茂4、木村 貴弘4、永松 謙太郎1,2,3 (1.徳島大理工、2.徳島大ポストLEDフォトニクス研究所、3.徳島大フォトニクス健康フロンティア研究院、4.(株)SCREENホールディングス)
キーワード：
AlGaN