[16a-W2_401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:15 〜 11:30

[16a-W2_401-9] スパッタ成長n型AlGaNへのin-situスパッタコンタクト

〇内藤 愛子¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

オーミックコンタクト、窒化アルミニウムガリウム、in-situ