[16a-W8E_307-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

11:30 〜 11:45

[16a-W8E_307-10] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定/ルネサンス (32)フォトルミネッセンスでは炭素濃度は測れない

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪公大 放射線研究センター)

キーワード：

シリコン結晶、炭素濃度、光学評価

フォトルミネッセンス法は発光過程を単純化していて正規化しても定量性が無いことが知られている。炭素濃度測定には電子線照射で格子間炭素次いで別の炭素とペアを作りその発光を測定するため、試料作製に定量性が無いという問題もある。酸素濃度、ボロン濃度に依り数桁変動するため、ごく一部のMCZ結晶のみで狭い範囲で炭素濃度に比例させようとしている。実用ウエハの大半を占めるCZ結晶とFZ結晶は対象外である。