[16a-W8E_307-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥 | 2026年第73回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16a-W8E_307-1~10]15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2026年3月16日(月) 9:00 〜 11:45

W8E_307 (西8号館)

9:00 〜 9:15

[16a-W8E_307-1]Chiplet時代のSi waferのゲッタリング設計

〇栗田一成¹、近藤博基¹ (1.九州大学)

9:15 〜 9:30

[16a-W8E_307-2]CZ-Si単結晶成長における種子付け界面の転位挙動観察

〇塚田翔馬¹、塚田大喜¹、斉藤広幸²、松村尚^1,2、干川岳志¹、太子敏則¹ (1.信大工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社)

9:30 〜 9:45

[16a-W8E_307-3]<110>方位CZ-Si単結晶育成中のネック部における転位挙動と数値解析

〇塚田大喜¹、塚田翔馬¹、干川岳志¹、斉藤広幸²、松村尚^1,2、太子敏則¹ (1.信大工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社)

9:45 〜 10:00

[16a-W8E_307-4]CUSP-CZ-Si単結晶育成時における融液内温度、酸素濃度分布のるつぼ回転数依存性

〇柿本浩一¹、中野智² (1.東北大金研、2.九大　応力研)

10:00 〜 10:15

[16a-W8E_307-5]VB-Ga₂O₃単結晶成長時における応力・転位分布の成長軸方位依存性

〇柿本浩一¹、富田健稔²、Vladimir Kochurikhin²、北原正典²、鎌田圭¹、村上力輝斗¹、中野智³、姚永昭⁴、赤岩和明⁵、吉川彰^1,2 (1.東北大金研、2.㈱C & A、3.九大　応力研、4.三重大、5.鳥取大)

10:15 〜 10:30

[16a-W8E_307-6]大面積X線ロッキングカーブマッピング技術の開発

〇石地耕太朗¹、石田成²、國分伸一郎²、藤井高志³、熊谷毅³、福田承生³、瀬尾圭介⁴、原田俊太⁴ (1.九州シンクロ、2.SP8サービス、3.福田結晶研、4.名古屋大)

10:30 〜 10:45

[16a-W8E_307-7]商用オフ角付きSiC基板の残留歪み定量イメージング(2)

〇辻直人¹、渡邉凌矢¹、岩崎雅弘¹、福澤理行¹ (1.京都工芸繊維大)

11:00 〜 11:15

[16a-W8E_307-8]シリコン結晶基板の品質と点欠陥: ルネサンス(15) 点欠陥に対する内部熱応力効果 (2)

〇井上直久¹、川又修一¹、奥田修一¹ (1.大阪公大放射線研究センター)

11:15 〜 11:30

[16a-W8E_307-9]シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学/ルネサンス (28) 窒素の高温挙動