[16a-W8E_307-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:15 〜 9:30

[16a-W8E_307-2] CZ-Si単結晶成長における種子付け界面の転位挙動観察

〇塚田 翔馬¹、塚田 大喜¹、斉藤 広幸²、松村 尚^1,2、干川 岳志¹、太子 敏則¹ (1.信大工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社)

キーワード：

シリコン、転位