講演情報
[16a-W8E_307-6]大面積X線ロッキングカーブマッピング技術の開発
〇石地 耕太朗1、石田 成2、國分 伸一郎2、藤井 高志3、熊谷 毅3、福田 承生3、瀬尾 圭介4、原田 俊太4 (1.九州シンクロ、2.SP8サービス、3.福田結晶研、4.名古屋大)
キーワード：
X線ロッキングカーブマッピング、結晶歪み構造、格子反り構造
SAGA-LS放射光施設のBL09のワイドビームとイメージング検知器のピクセルを利用した大面積のX線ロッキングカーブマッピング技術を開発した。解像は50 umで視野は50x50 mm2であり、2インチウェハーのマッピングイメージを30分程度で収集できる。結晶格子の歪み分布と格子面の反り分布の2種類の構造が得られ、これらは結晶欠陥構造と相関することが示された。本技術は結晶品質の向上に貢献すると期待される。