[16a-W8E_307-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

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[16a-W8E_307-9] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学/ルネサンス (28) 窒素の高温挙動

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪公大 放射線研究センター)

キーワード：

シリコン結晶、窒素、赤外吸収

我々はVNN, VVNN, N_i, VN_sの吸収を発見または同定し、As-grown結晶にN_iとVVNNを見出した。またFZ結晶の熱処理によるライフタイム低下はV+N_i→VN_sによると明らかにした。これらの高温での挙動は色々推定されている、FZではN₂がVを捕えるなど。我々はVNN, VVNN, VN_sは800℃以上では分解しNNやN_iに戻ることを示した。ＮＮのNiへの解離拡散モデルは疑問である。