講演情報
[16a-W9_324-1]放射光X線トポ・トモグラフィーを用いたβ型Ga2O3結晶中の格子欠陥三次元可視化
〇姚 永昭1,2、勝部 大樹2、山口 博隆2、菅原 義弘2、佐々木 公平3、倉又 朗人3、石川 由加里2 (1.三重大、2.JFCC、3.ノベルクリスタルテクノロジー)
キーワード：
酸化ガリウム、X線トポ・トモグラフィー、転位
結晶成長過程における欠陥低減や、デバイス設計時の最適な構造設計には、欠陥分布を三次元的（3D）に把握することが不可欠であるが、これまで有効な3D可視化技術は確立されていなかった。本研究では、異常透過を利用した透過配置のX線トポグラフィー法に基づき、ブラッグ回折条件を保持したまま試料を回転させ、回折コントラストを用いて転位や積層欠陥、歪み場を三次元的に可視化可能なX線トポ・トモグラフィーに着目し、β型Ga2O3結晶中の格子欠陥の3D可視化技術の確立に取り組んだ。