[16a-W9_324-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:45 〜 12:00

[16a-W9_324-11] (011)面HVPE β型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードのキラー欠陥の同定

〇江口 正徳¹、佐藤 誠²、中庭 正太郎²、サハ ニロイ チャンドラ²、林 家弘³、佐々木 公平³、嘉数 誠² (1.佐賀大学シンクロ、2.佐賀大院理工、3.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：

（011）面HVPE β型酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、キラー欠陥

我々はこれまでに転位密度が低い（011）面HVPE膜おいて、多結晶欠陥とそれに伴う（100）面のクラックのキラー欠陥を報告した。本報では、あらたに発見したキラー欠陥が（011）HVPE膜に生じた多結晶欠陥と[100]方向、[0-11]方向の線状欠陥であることを報告する。