講演情報
[16a-W9_324-7]NiOx/β-Ga2O3 (001)ヘテロ接合ダイオードの電気特性評価及び電流輸送機構の考察
〇棟方 晟啓1、宮本 広信2、佐々木 公平2、前田 拓也1 (1.東京大学、2.(株)ノベルクリスタルテクノロジー)
キーワード：
酸化ガリウム、ニッケル酸化物、電流輸送
NiOx/β-Ga2O3 (001)ヘテロ接合ダイオードの電流輸送機構を調べた．デバイス上部から1–4 eVの光を照射すると，2.53 eVを閾値として，IPEに起因すると見られる光電流が生じた．I-V測定では理想因子がn~1であったことから熱電子放出(TE)モデルで解析すると，得られた障壁高さはC-V，光電流分光測定と一貫した結果を示し，TE輸送が電流を制限していることが示唆される．