[16a-WL2_401-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

9:30 〜 9:45

[16a-WL2_401-1] 磁気援用プラズマCVD法による小径円筒内壁へのDLC膜の作製

〇(M1)佐向 亮¹、赤坂 大樹¹ (1.科学大)

キーワード：

ダイヤモンド状炭素膜、パイプ、磁石