[16a-WL2_401-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[16a-WL2_401-2] 高速フィルタードアーク蒸着装置で形成したDLC 膜の成膜時間依存性

〇佐野 春¹、佐野 絃貴¹、滝川 浩史¹、服部 貴大²、儀間 弘樹² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)

キーワード：

ta-C、水素フリーDLC、成膜温度

切削工具の耐凝着性と耐摩耗性を向上させるため、DLCコーティングが利用されている。
我々が独自に開発した高速フィルタードアーク蒸着（HR-FAD）装置は、特性上基板温度が上昇しやすい。先行研究ではクールダウンインターバル冷却の効果を確認した。本研究では、生産性の最適化のために、回転台固定時の基板温度の測定、および回転を行った際の温度推移のシミュレーションを行った。