[16a-WL2_401-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[16a-WL2_401-4] FFT を用いたDLC成膜中の分光スペクトル解析による機械学習の効率化に関する検討

〇樫村 直樹¹、中村 聡¹、小松 隆¹、大越 康晴² (1.神奈川大工、2.電機大)

キーワード：

スペクトル、ダイヤモンドライクカーボン、プラズマ