[16p-M_107-1~10] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[16p-M_107-8] SiON/W/SiO₂多層膜マスクSi(111)上の垂直III-V NW選択成長と縦型マルチトランジスタ応用

〇谷山 慶太¹、渡辺 仁¹、竹田 有輝¹、東 佑樹¹、冨岡 克広¹ (1.北大院情報科学および量子集積センター)

キーワード：

III-V、ナノワイヤ、FET