講演情報
[16p-M_135-13]DNA感応膜を用いた膜型表面応力センサによる微量水分検知
〇今村 岳1,2、的場 正晃1、三木 雄輔3、讃井 香純3、坂田 晋3、村田 朋大2,4、吉川 元起1,2 (1.Qception、2.NIMS、3.大陽日酸、4.東大新領域)
キーワード：
ガスセンサ、湿度、DNA
高純度ガスの製造や半導体加工プロセスなどにおいて、気体中に含まれる微量水分の検知は重要な技術である。本研究では、DNAを感応膜とした膜型表面応力センサ（MSS）を用いることで、気体試料に含まれる微量水分の検知を行った。窒素中の水分濃度を10, 20, 50, 100 ppmに調整し測定を行った結果、各濃度での測定でセンサの応答が得られた。センサの応答強度が濃度に線形であると仮定すると、検出限界は約40 ppbと見積もられる。