[16p-M_135-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

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[16p-M_135-2] [第47回優秀論文賞受賞記念講演] レーザー励起光電子顕微鏡を用いたレジスト中の潜像の高スループット観察

〇藤原 弘和^1,2、バレイユ セドリック³、大川 万里生³、辛 埴⁴、谷内 敏之^1,2 (1.東大院新領域、2.東大MIRC、3.東大物性研、4.東大特別教授室)

キーワード：

リソグラフィ、潜像、光電子顕微鏡

連続波レーザーを用いたレーザー励起光電子顕微鏡によるレジスト中の潜像の高スループット観察を実証した。潜像を化学コントラストとして直接可視化でき、原子間力顕微鏡比では約200万倍、単一ビーム走査型電子顕微鏡比では約5万倍のスループット向上が見込まれることが見積もられた。本技術により現像前検査により露光・現像起因欠陥の迅速な切り分けが可能となり、プロセス開発効率の大幅な向上が期待される。