[16p-PA3-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-PA3-1] AlGaN/AlN/サファイアヘテロ成長における結晶学的TiltとTwistに関する研究

〇藤井 滉樹¹、松原 優翔¹、髙柳 祐介¹、高島 祐介^1,2、直井 美貴^1,2、永松 謙太郎^1,2,3 (1.徳島大院創成、2.徳島大pLED、3.徳島大IPHF)

キーワード：

結晶成長、MOVPE、AlGaN