[16p-PA3-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-PA3-11] N極性GaN(0001 )表面でのおけるステップ形成エネルギーの評価

〇(M1)田原 大樹¹、秋山 亨^2,1、河村 貴宏^1,2 (1.三重大院工、2.三重大学ICSDF)

キーワード：

N極性GaN、ステップ形成エネルギー、エピタキシャル成長