2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-PA4-9]
Ge-on-Si(111)上の歪みSiGe膜の歪み分布評価
〇加藤 惠太郎
1
、溝口 稜太
1
、長尾 優希
1
、萩原 智大
1
、石橋 脩悟
1
、相川 茉由
1
、山田 道洋
1
、浜屋 宏平
2,3
、澤野 憲太郎
1
(1.東京都市大、2.阪大基礎工 CSRN、3.阪大 OTRIスピン)
キーワード：
SiGe
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