講演情報

[16p-PA7-17]プラズマ処理・セレン化による MoSe2/Janus SMoSe の形成

〇山口 真由1、上野 啓司1、リム ホンエン1 (1.埼玉大院理工)

キーワード:

層状物質、遷移金属ダイカルコゲナイド、Janus 遷移金属ダイカルコゲナイド

遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)の多くは層状物質であり,2次元構造に由来する物性から,新たな半導体材料として注目を集めている.Janus TMDCとは,片面が異なるカルコゲン原子で構成された非対称のサンドイッチ構造を持つ層状TMDCのことである.この非対称性に起因する特異な物性が次世代のデバイス応用に期待されている.そこで,化学気相成長法を用いてMoS2薄膜を合成した後,プラズマ処理及びセレン化を行うことでMoSe2/Janus SMoSeの合成を試みた.