[16p-PA7-1~40] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[16p-PA7-27] 液相剥離TaS2を酸化して得られたTaOx薄膜の絶縁性評価

〇河井 蒼空¹、能見 彩音²、新井 洸大²、稲田 貢²、佐藤 伸吾²、高橋 智一²、青柳 誠司²、上野 啓司³、山本 真人² (1.関西大システム理工、2.関西大院理工、3.埼玉大院理工)

キーワード：

High-κ酸化膜、液相プロセス、TaS2