講演情報
[16p-PA7-9]Na2WO4/WOx膜を前駆体とした表面平坦WOxナノワイヤの準配向成長と単層WS2のテンプレート成長
〇伊東 良誠1、金崎 郁穂1、林 靖彦1、鈴木 弘朗1 (1.岡大院環境生命自然)
キーワード：
二次元半導体、酸化物ナノワイヤ、ナノリボン
デバイスへの応用に向けたWS2ナノリボンの作製を目的に，テンプレートであるWOxナノワイヤの成長制御を行った．スパッタおよびスピンコートにより形成したNa2WO4/WOx膜を前駆体とし，微量な有機硫黄と反応させることで，高密度かつ準配向したWOxナノワイヤの成長を実現した．さらにWOxナノワイヤ表面の硫黄化により，WOxナノワイヤ上に平坦な単層WS2ナノリボンの形成に成功した．