講演情報
[16p-S2_203-7]極低温におけるMOSFETの逆短チャネル効果
〇FENG ZIJIA1、水谷 朋子1、更屋 拓哉1、小林 正治1、平本 俊郎1 (1.東大生研)
キーワード：
半導体、MOSFET、極低温
極低温におけるMOSFETは，量子コンピュータの周辺回路において重要な役割を果たす。これまでに多くの研究で極低温MOSFETの特性が調べられている。測定結果から，Halo Dopingされた MOSFET における逆短チャネル効果は，室温と比べて低温で弱くなることが示されている。しかし，この現象については依然として物理的な解明が不十分である。本研究では，測定によりこの挙動を再確認し，デバイスシミュレーションによってその物理的起源を明らかにすることを目的とする。