講演情報
[16p-S4_203-1]境界電荷法による電子源傾斜時の収差特性の解析
〇早田 康成1、岸田 一甫1、村田 英一2 (1.筑波大数理、2.名城大理工)
キーワード：
走査電子顕微鏡、収差、境界電荷法
走査電子顕微鏡において電子源を傾けた時の収差特性を境界電荷法により解析した。その結果、傾斜により新たにコマ収差と非点収差が生じることが明らかとなった。コマ収差は傾斜時の仮想光源形状の非対称性の原因となっている。これらの収差は電子の引き出し電極により生じるレンズ作用に起因するものと考えられる。