講演情報
[16p-S4_203-3]ショットキーモードでのLaB6エミッタの面方位ごとの電流特性
〇伊藤 昂陽1、杉山 遥祐1、太田 歩真1、村田 英一1、田中 崇之1、六田 英治1 (1.名城大理工)
キーワード：
LaB6、ショットキー電子放出、仕事関数
次世代の電子線リソグラフィー装置の性能向上には、高性能電子源が必要不可欠である。これの実現には、高輝度・大電流・高安定性・長寿命の条件を満たす電子銃開発が必要である。我々はこれまで上記の条件を満たすようなLaB6を用いた電子源開発を行ってきた。昨年の応用物理学会ではエミッタに高電圧を印加すると電流値が減少する現象を報告した。今回はエミッタ先端の面方位毎のショットキー放出電流の評価を行ったので報告する。