講演情報
[16p-S4_203-7]物体検出モデル支援トモグラフィック電界イオン顕微鏡の開発
李 嘉誉1、世古 卓生1、岩田 達夫1、〇永井 滋一1 (1.三重大院工)
キーワード：
電界イオン顕微鏡、電界放出型電子源
電界放出型電子源の特性は陰極表面の原子構造に強く依存する。本研究では，YOLOを用いた原子位置自動検出に基づくトモグラフィック電界イオン顕微鏡を開発した。He-FIM像から抽出した原子座標に三次元再構成を適用し，W⟨110⟩において理論値と一致する面間隔および明瞭な周期構造を再現した。本手法は高精度な原子配列解析に有効である。