講演情報
[16p-S4_203-8]窒化ハフニウム薄膜の昇温に伴う表面酸素の結合状態の変化
〇大住 知暉1、後藤 康仁1 (1.京大院工)
キーワード：
窒化ハフニウム、X線光電子分光法、表面酸素
窒化ハフニウム薄膜を500℃まで昇温し、室温、50℃、100℃から500℃までの100℃ごと、また冷却後に光電子スペクトルを取得した。O1sのナロースキャンスペクトルの測定結果から、室温では、530 eVと532 eVにピークが見られることが分かった。昇温に伴い、532 eVのピークは減少し、400℃以上で見られなくなった。冷却後も同様に532 eVのピークは見られなかった。この532 eVのピークは薄膜表面に吸着した水分子や水酸基に由来することが考えられる。