講演情報
[16p-S4_203-9]TiN被膜ボルケーノ構造フィールドエミッタアレイのエミッタ先端曲率半径の推定
〇川崎 祐輔1、村田 英一1、村田 博雅2、長尾 昌善2 (1.名城大理工、2.産総研)
キーワード：
フィールドエミッタアレイ、マルチエミッタ評価装置、TiNコーティング
前回はフィールドエミッタアレイのエミッタ1 tipの電流評価について報告した。今回は、エミッタ1 tipのFNプロットを所得した。そしてボルケーノ構造フィールドエミッタアレイのエミッタを忠実にモデル化し、境界電荷法を用いてエミッタ先端における電界をシミュレーション解析して先端曲率半径を算出した。