講演情報
[16p-W8E_101-1][第26回業績賞（研究業績）受賞記念講演] 半導体スーパージャンクション ― 発想の経緯
〇藤平 龍彦1 (1.富士電機)
キーワード：
半導体、スーパージャンクション、固有オン抵抗
スーパージャンクション（SJ）はSiパワーMOSFETの固有オン抵抗をSiリミットの7.4%まで低減し、市場規模は33億米ドルに達した。著者がSJによるパワーMOSFETのオン抵抗低減を発想したのは、パワーMOSFETではなくHVIC（High Voltage Integrated Circuit）の開発過程、しかも不良品の原因調査であった。本講演では、そのSJ発想に至る経緯を報告する。