2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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セッション詳細

一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[16p-W8E_101-1~15]13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

2026年3月16日(月) 13:30 〜 18:00
W8E_101 (西8号館)
13:30 〜 14:15

[16p-W8E_101-1][第26回業績賞（研究業績）受賞記念講演] 半導体スーパージャンクション ― 発想の経緯

〇藤平 龍彦1 (1.富士電機)
14:15 〜 14:30

[16p-W8E_101-2]GaN-HEMTターンオフスイッチングにおける電圧サージによる破壊の挙動

〇齋藤 渉1、西澤 伸一1 (1.九大応力研)
14:30 〜 14:45

[16p-W8E_101-3]4H-SiC UMOSFETのゲートスイッチング時の発光とGSIのモデル

〇熊谷 直樹1、染谷 満1、平井 悠久1、岡本 光央1、畠山 哲夫2 (1.産総研、2.富山県立大学)
14:45 〜 15:00

[16p-W8E_101-4]高圧ハイブリッド直流遮断器応用に適したSiCパワーデバイスの構造

〇谷本 智1、野村 優貴1、西岡 圭1、中村 孝1 (1.ネクスファイ・テクノロジー)
15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[16p-W8E_101-5]4H-SiC表面に対するNラジカル窒化過程における熱的N脱離現象の反応機構の理解

〇吉田 遥希1、田村 敦史1、喜多 浩之1 (1.東大院新領域)
15:15 〜 15:30

[16p-W8E_101-6]高温Ar雰囲気中のSiO2分解過程に伴う4H-SiC中の炭素関連欠陥生成の異常促進とそのSiO2形成手法による違い

〇(D)蘇 楠1、呂 楚陽1、田村 敦史1、喜多 浩之1 (1.東大院新領域 物質系専攻)
15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[16p-W8E_101-7]SiO2/SiC 構造に対する絶縁膜堆積前水素熱処理および犠牲酸化の効果

〇(B)澤田 翔斗1、小林 拓真1、藤本 博貴1、原 征大1、渡部 平司1 (1.阪大工・院工)
16:00 〜 16:15

[16p-W8E_101-8]極浅カウンタードープ領域を有するSiC MOSFETの作製と評価

〇三上 杏太1、梶原 隆太1、金子 光顕1、木本 恒暢1 (1.京大院工)
16:15 〜 16:30

[16p-W8E_101-9]量産プロセス適用可能なホットウォール酸化炉を用いたSiC-MOS界面へのCO2 POA効果の検証

〇染谷 満1,2、平井 悠久1、熊谷 直樹1、矢野 裕司3、磯部 高範3、細井 卓治2,4、渡部 平司2 (1.産総研、2.阪大院工、3.筑波大、4.NIMS)
16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[16p-W8E_101-10]ドライ酸化とウェット酸化4H-SiC(0001) MOSFETの界面欠陥の電流検出ESR分光による比較

〇(M2)島袋 聞多1、安達 慧悟1、染谷 満2、平井 悠久2、渡部 平司3 (1.筑波大学　数理物質、2.産総研、3.阪大院工)
16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[16p-W8E_101-11]SiC MOS界面にトラップされた光誘起電荷とその極性制御

〇(D)尾和 哲大1、三浦 晨1、稲村 文行1、生田 昂1、前橋 兼三1、生嶋 健司1 (1.農工大院工)
17:00 〜 17:15

[16p-W8E_101-12]シリコンキャップアニール電極を有するショットキーバリアダイオードの長期高温特性

〇福澤 尊仁1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大先進理工)
17:15 〜 17:30

[16p-W8E_101-13]シリコン空孔量子センサによる炭化ケイ素パワーデバイス電界計測

〇山崎 雄一1、清井 明2、川畑 直之2、渡部 裕貴2、明石 遼介1、大門 俊介1、宮脇 信正1、松下 雄一郎1,3,4、好田 誠1,5,6、大島 武1,5 (1.量研、2.三菱電機、3.東大、4.Quemix、5.東北大、6.ワシントン大)
17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[16p-W8E_101-14]p 型 SiC エピ層上 SiO2/SiC 界面発光中心の光学及び電気特性評価

〇兼子 悠1、朽木 克博2、原 征大1、渡部 平司1、小林 拓真1 (1.阪大工・院工、2.豊田中研)
17:45 〜 18:00奨励賞エントリー

[16p-W8E_101-15]光支援C-V測定によるSiO2/SiC界面発光中心の深い準位評価

〇大西 健太郎1、朽木 克博2、原 征大1、渡部 平司1、小林 拓真1 (1.阪大院工、2.豊田中研)
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