講演情報
[16p-W8E_101-12]シリコンキャップアニール電極を有するショットキーバリアダイオードの長期高温特性
〇福澤 尊仁1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大先進理工)
キーワード：
半導体、シリコンカーバイド、高温特性
裏面にSiCAを施した電極を有するショットキーバリアダイオード(SBD)を作製し、熱的安定性を調査した。
600℃で加熱した後、室温で電気特性の評価を行った。裏面Niシリサイドのサンプルにおいては加熱後に直列抵抗が増大した。一方で、裏面SiCA後Moのサンプルにおいては長期安定性が得られる結果となった。
600℃で加熱した後、室温で電気特性の評価を行った。裏面Niシリサイドのサンプルにおいては加熱後に直列抵抗が増大した。一方で、裏面SiCA後Moのサンプルにおいては長期安定性が得られる結果となった。