[16p-W9_222-1~11] Lab to Fab 2：量産化とグリーン化を突破するための半導体研究

16:25 〜 17:00

[16p-W9_222-8] 半導体製造グリーン化への化学産業の貢献：廃酸類リサイクル事業

〇高橋 堅太¹ (1.下関三井化学株式会社)

キーワード：

半導体、廃酸、リサイクル

半導体製造プロセスでは、リン酸、フッ酸、硫酸等の酸類を含む薬液が使用されるが、使用後の廃酸類は産廃処理、埋め立てされることも多い。そこで、半導体製造グリーン化に向けた化学産業からのアプローチとして、ケミカルリサイクル技術を活用した廃酸類リサイクル事業を紹介する。