講演情報
[16p-W9_222-9]サステナブルなALDの原料オンデマンド供給を可能にする高速開閉バルブの動作制御
〇(M1)石田 栞大1、西里 洋1,2、小田 翔太1、中家 佑吾2、奈須 錦一4、岡島 寛3、百瀬 健4 (1.熊大自、2.堀場エステック、3.熊大先端院、4.熊大半導体)
キーワード：
原子層堆積法、サステナブル、バルブ
原子層堆積（ALD）は優れた被覆性と膜厚制御性を持つ一方、原料供給・パージを繰り返すためプロセス時間が長く、未使用原料を排気し続ける現行方式ではコストおよび環境負荷が大きい。本研究では、必要時のみ原料を供給する「オンデマンド供給」を実現するため、高速動作可能なピエゾバルブを導入し、開閉率を制御することで原料流量を瞬時に目標値へ立ち上げる制御方式を構築した。本講演では、この制御手法の設計思想と、従来のガスライン切替方式に遜色ない原料供給性能を示す検証結果について報告する。