[16p-W9_324-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

18:15 〜 18:30

[16p-W9_324-17] 非選択エッチングを見据えたβ-Ga₂O₃ の溶解挙動の評価

〇大塚 葵衣¹、塚田 太郎¹、太子 敏則¹ (1.信大工)

キーワード：

酸化ガリウム、エッチング