[16p-W9_324-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

14:15 〜 14:30

[16p-W9_324-3] HCl-HVPEによる(011) β-Ga₂O₃の高速ホモエピ成長

〇大島 祐一¹、大島 孝仁¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム、ハライド気相成長法