[17a-M_103-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

12:15 〜 12:30

[17a-M_103-13] マイクロ波ECRプラズマにおけるガス解離効率向上のための手法

〇薬師寺 守¹、桑原 謙一¹、山田 将貴² (1.日立ハイテク、2.日立研開)

キーワード：

温室効果ガス低減、マイクロ波ECRプラズマ、解離効率

本検討では、温室効果ガス（GHG）低減を目的に、マイクロ波ECRプラズマを用いてプロセスガスの解離効率を評価した。プラズマエッチング装置の排気ガス成分をFTIRでリアルタイム測定し、マイクロ波出力条件による傾向を評価した結果、出力の増加に伴い解離が促進されることを確認した。さらに、他の手法やガス解離のメカニズム、環境負荷低減への有効性についても考察し、今後のプロセスの方向性を示唆する。