講演情報
[17a-M_103-7]デジタルツインを用いたTSV用SF6代替低GWPエッチングガスの開発
〇市川 菜摘1、石川 卓司1、石伏 未来1、岡本 鈴佳1、野尻 康弘1、林 久貴1 (1.ダイキン工業株式会社)
キーワード：
Boschプロセス、デジタルツイン、低GWPガス
Boschプロセスに用いられるSF6の代替ガスとして、Gas-Yをデジタルツインを用いて開発した。30条件の実験結果をもとに構築したデジタルツインを用いて14406条件の仮想実験を行い、幅広い実験空間でGas-Yのエッチング特性をSF6と比較した。その結果、Siへの水平方向のエッチングを、SF6に比べGas-Yでは15％抑制出来ることを確認した。実際のＴＳＶ加工形状等についても講演にて発表する。