[17a-M_278-1~13] CS.3 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[17a-M_278-2] 酸素・アルゴン混合ガス雰囲気下における強誘電性ハフニアのPLD成長

〇槇 麟太郎¹、Yufan Shen¹、藤 颯太¹、菅 大介²、島川 祐一¹ (1.京大化研、2.阪大工)

キーワード：

強誘電性、ハフニア