[17a-PB1-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-PB1-12] 反応性RFマグネトロンスパッタリング法で作製したCu₂O薄膜の膜厚と低真空アニールが特性に与える影響

青木 涼馬¹、守山 藍¹、〇澤畠 淳二¹ (1.茨城高専)

キーワード：

Cu2O、薄膜、低真空アニール