講演情報
[17a-PB1-29]スパッタリング法で製膜したアモルファスTiO2薄膜の結晶化挙動
〇新船 幸二1、竹谷 有輝1、中山 慶哉1、飯村 健次1、前田 光治1 (1.兵県大工)
キーワード：
酸化チタン、結晶化、Avrami式
Si基板上に製膜したアモルファス酸化チタン薄膜に対して熱処理を行い、薄膜の結晶化挙動について検討を行った。Avrami式でfittingしてアレニウスプロットを行った結果、熱処理温度300℃付近で速度定数は大きく変化することが判った。また、Avrami指数も300℃付近で傾向が変化した。