講演情報
[17a-PB1-30]Cu₂O/TiO₂太陽電池のJ-V光電変換特性に及ぼすTiO₂層成膜条件の影響
〇(M1)飯塚 陸1、鷹野 一朗1 (1.工学院大工)
キーワード：
太陽電池、薄膜、スパッタリング
本研究では、Cu₂O/TiO₂太陽電池におけるTiO₂層の成膜条件がJ-V特性に及ぼす影響を検討した。TiO₂ターゲット入力電力、酸素流量、基板加熱温度を変化させて試料を作製し評価した結果、入力電力90 W、酸素流量1.5 sccmの条件で高い短絡電流密度と光電変換効率が得られた。また、酸素流量の増加によりTiO₂のAnatase相が増加し、酸素欠陥の減少による開放電圧の向上が確認された。