講演情報
[17a-PB1-6]電気二重層トランジスタ構造を用いたTi/ZnO接合界面における面内電気伝導特性の研究
〇下川 桃果1、石黒 亮輔1 (1.日女大院理)
キーワード：
酸化亜鉛、電気二重層、接合界面
酸化亜鉛(ZnO)は優れた半導体特性を持つが、電界効果トランジスタ(FET)応用には電極との低い接触抵抗が不可欠であり、その界面状態の解明が重要である。先行研究では、電気二重層トランジスタ(EDLT)構造を用いた金属酸化亜鉛接合において、超伝導転移の可能性を持つ独自の二次元界面状態が示唆された。本研究は、Ti/ZnO接合における界面状態の面内伝導を実証し、超伝導転移の有無を検証することを目的とする。