[17a-S2_201-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[17a-S2_201-1] 長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価

〇山田 虎人¹、向出 千隼¹、栗岡 智行¹、町田 克之¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.科学大)

キーワード：

MEMS加速度センサ、長期振動試験、共振周波数

本論文は、高感度Au錘1軸MEMS加速度センサの社会実装のための、長期振動試験による耐久性評価結果を述べる。評価は、生活環境振動下を想定し、振動周波数100Hz、加速度0～2.00g（1g＝9.8m/s²）をパラメータとして実施している。振動試験は、機械的金属疲労評価の指針である10⁷回実施し、試験前後の共振周波数の変化率を調べている。測定結果から、共振周波数の変化率は3%以内であり劣化しないことを示している。本結果から、Au錘1軸MEMS加速度センサが機械的金属疲労なしに構造的に安定性であることを確認している。