[17a-S2_201-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[17a-S2_201-2] ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサにおける検出範囲の検討

〇向出 千隼¹、山田 虎人¹、栗岡 智行¹、町田 克之¹、Chun-Yi Chen¹、Tho-Fu Mark Chang¹、三宅 義博¹、曽根 正人¹、伊藤 浩之¹ (1.科学大)

キーワード：

MEMS加速度センサ、ワイドレンジ、検出範囲

本論文は、パーキンソン病早期予知を目的として提案した2個のAu錘を有する高感度ワイドレンジ1軸MEMS加速度センサの検出範囲評価結果について述べる。容量-加振実験により各錘の加速度検出範囲を検証し、低g(1g=9.8 m/s²)錘がμgから0.5g、高g錘が0.5gから6gの検出範囲を有することを明確にした。さらに、本デバイスをモジュール実装後、筋音・歩行運動測定を実施し、μgレベルから6gまでの広範囲測定可能なことから筋音から歩行運動測定まで提案デバイスで計測可能であることを確認した。