[17a-S2_201-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[17a-S2_201-4] Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対するTi/Au膜厚の影響評価

〇高畑 寿志¹、栗岡 智行¹、山田 虎人¹、向出 千隼¹、町田 克之¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹、曽根 正人¹ (1.東京科学大学)

キーワード：

ばね定数、九十九折ばね、MEMS

本研究では、Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対する、Ti/Au各金属層の膜厚の影響を報告する。ばね-錘モデルを用いて、錘垂直方向の変位量からばね定数を有限要素法解析で算出した結果、Ti膜厚の増加に伴いばね定数は増加した。また、Ti膜厚一定条件下では、Au膜厚の増加に伴い、ばね定数は増加した。これらは、膜厚増加によるばね構造の剛性が、増大したためである。