[17a-S2_201-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[17a-S2_201-6] 円形金錘1軸静電容量型MEMS加速度センサの構造とデバイス特性評価

〇奥村 雅子¹、栗岡 智行¹、山田 虎人¹、森 達彦¹、向出 千隼¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹、町田 克之¹、曽根 正人¹ (1.東京科学大学)

キーワード：

円形、反り、MEMS

本論文は、Ti/Au 積層構造を有する静電容量型 MEMS 加速度センサにおける、Ti と Auの熱膨張係数の不一致より生じる反り変形抑制のため、円形錘構造を提案しその効果を述べる。試作デバイスの円形錘部分の反り変形は、半径の 1% 未満であった。また、デバイス特性評価として静電容量-電圧測定を実施し、約 3.2 V でプルインが観測され、反り変形抑制による安定した挙動を確認している。