[17a-S2_203-1~12] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

11:15 〜 11:30

[17a-S2_203-9] NMOS-GAAFETのS/D形成に向けたSiPの成長レート検討

〇熊谷 直人¹、入沢 寿史¹、林 喜宏¹ (1.産総研)

キーワード：

NMOS-GAAFET、SiP