[17a-S4_202-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[17a-S4_202-2] 酢酸エステル/IPA混合液を用いたPMMA電子線レジストの現像特性

〇堀 菜津子¹、岸村 由紀子¹、浅田 裕法¹ (1.山口大工)

キーワード：

PMMA、現像液

PMMAの現像液には、一般的にMIBKとIPAの混合液が用いられている。本研究室ではMIBKより安全性が高い現像液として、エステル溶媒に着目している。本研究ではIPAをエステルに混合した溶媒を用いて、PMMAの感度やCDリニアリティといった現像特性について検討を行った。その結果、MIBK/IPA現像液ではIPAは貧溶媒として用いられているにもかかわらず、IPAを数10%加えたエステル/IPA現像液において感度の向上がみられた。