[17a-S4_202-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

11:00 〜 11:15

[17a-S4_202-8] 遮光膜付きレプリカモールドを用いた残膜レスナノパターニング

〇森山 祐大郎¹、谷口 淳¹ (1.東理大先進工)

キーワード：

ナノインプリント、転写、残膜